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中国电科46所成功制备我国首颗6英寸氧化镓单晶

时间: 2023-02-28 08:45:01 来源: 南财快讯


(资料图)

据中国电科官方微信公众号,近日,中国电科46所成功制备出我国首颗6英寸氧化镓单晶,达到国际最高水平。中国电科46所氧化镓团队聚焦多晶面、大尺寸、高掺杂、低缺陷等方向,从大尺寸氧化镓热场设计出发,成功构建适用于6英寸氧化镓单晶生长的热场结构,突破了6英寸氧化镓单晶生长技术,具有良好的结晶性能,可用于6英寸氧化镓单晶衬底片的研制。

关键词: 中国电科

责任编辑:QL0009

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